技术编号：5840306
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发 明涉及深紫外薄膜光学技术应用领域，特别涉及。背景技术近年来，随着ArF准分子激光在材料精细加工、深紫外光刻、材料处理和准分子医疗等诸多领域越来越广泛应用和长足发展，使得深紫外光学相关技术的研究具有重大的社会和经济价值。在深紫外的领域中，无论是ArF准分子激光器还是其他相关光学系统，都离不开深紫外波段的镀膜光学元件，因此迫切需要研制出在深紫外波段范围内性能优异的光学薄膜。为了制备出满足要求的薄膜光学元件，必须准确确定出所用薄膜材料在相应波段内的光学常数...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。