技术编号：5840393
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于轮廓测量装置与方法，主要涉及一种大口径非球面宏观轮廓测量技术。 背景技术 非球面光学零件较之球面光学零件有更多的设计自由度，不仅在光学系统中可有效校正高级像差，显著提高光学系统成像质量，同时又可明显简化光学系统结构，扩展光学系统功能。因此，非球面镜得到了广泛的应用，而各类大口径非球面的优点则更为突出、需求更为迫切。 在非球面光学元件的加工过程中，对其表面面形的精确测量是非常重要的从某种意义上说，没有与加工精度相适应的高精度检测方法和仪器，非...
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