技术编号：5840634
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明主要涉及到微电子机械系统领域，特指。 背景技术与传统陀螺相比，基于微机电系统技术的硅微陀螺具有体积小、重量轻、成本低、可靠 性高、易集成等优点，在飞行器稳定控制、武器导航制导、汽车安全等领域具有广泛的应用 前景。现有硅微陀螺的结构种类很多，但它们都是利用哥氏力效应来检测角速度，它有两个 相互垂直的振动方向，即激励振动方向和哥氏力引起的敏感振动方向。微机械陀螺通常采用静电力驱动方式，它利用两组电极之间的静电力来实现，电极的结 构有梳齿电容和平板电容两种...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。