技术编号：5840972
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及长度测量仪器光学系统设计领域，特别有关于将远心系统(telecentric system)的量测原理和波前重现(wavefrontreconstruction)的光学原理结合而形成一种共轭光路，并利用此共轭光路，实现具有高允许偏差的二维运动相对位移量的量测。美国专利案号5,204,524公开了一种二维位移量测装置。然而，在解析度与精密度方面，由于几何光学的限制，仍无法有效提高。美国专利案号5,424,833，公开了另一种二维位移量测装置。然而，于...
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