技术编号:5841299
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种振动传感器,尤其涉及一种变容式高灵敏度振动传感器》背景技术当前,常用的振动传感器,多是压电陶瓷类器件,该类器件为一种压电效应器件;机械振动通过压电效应转换为电压信号;对于此种器件,只能通过提高压电效应的转换效率来提高灵敏度,此类器件对微弱振动信号响应颇有难度。发明内容本发明的目的是提供一种对机械振动,特别是微弱机械振动,行很好响应的变容式高灵敏度振动传感器。为实现上述目的,本发明采用的技术方案是-一种变容式高灵敏度振动传感器,包括感振部分和信...
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