技术编号:5841500
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器及其制备方法,尤其涉及一种基于孔缝结构应力集中的 压阻式微悬臂梁传感器及制备方法。 背景技术近年来,基于微悬臂梁结构的传感器已成为微机电系统领域一个广泛关注的 研究热点。该类传感器具有高灵敏度、高分辨率、快速响应和微型化等特点, 被广泛应用于生化传感检测等领域。测量微悬臂梁弯曲的方法有光学和电学方 法。光学法具有灵敏度高,但系统复杂,且光学系统需要精密校准限制了其广 泛应用,电学法有压阻式、压电式、电容式等,灵敏度相较光学法要低,但操 作简...
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