技术编号:5841721
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明为一种IC测试设备及其测试方法,特别是涉及一种设有测力器与回馈装置的IC测试设备及其测试方法。背景技术在现有技术的集成电路元件(简称IC)进行最终测试时,常使用具有弹簧探针(pogo pin)的测试承座或探针卡,为了提高探针的使用寿命与效能,通常可在测试承座或探针卡的内部加入压力感测元件,不只可得知探针是否有故障受损,以提高探针的使用效能及避免伤害到待测元件等,还可降低探针与IC的凸块或焊垫因接触不良而误判IC的测试失败。请参考图1,现有技术的中国台...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。