技术编号:5841866
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对半导体晶片等被检查体的电特性进行检查的检查装 置,更详细地说,涉及能够可靠地进行高温检査或低温检査的检査装置。背景技术现有的检查装置,例如图5所示,具有载置被检査体(例如半导 体晶片)W的能够移动的载置台1;能够在水平方向和上下方向使载 置台1移动的驱动机构2;配置在载置台1的上方的探针卡3;进行探 针卡3的多个探针3A与载置台1上的半导体晶片W的多个电极垫的 定位的对准机构4;以及控制包括载置台1和对准机构4的各种设备的 控制装置5,在控制装...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。