技术编号:5842237
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种位置测量装置的扫描单元。 背景技术如比如在IJS 2004/0263846 Al中所说明的一样的位置测量装置用 于测量长度及位移,并且尤其在加工机械上用于测量工具关于有待加 工的工件的相对运动,在坐标测量机上并且更多地也在半导体工业上 用于晶片的定位。对位置测量装置的要求越来越高,现在不断要求位置测量的更高 的分辨率以及更高的精度和可再现性。在这种情况下,应该存在紧凑 的机械结构并且测量值产生及测量值传输应该简单且无干扰,紧凑的结构和无干扰的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。