光学位置测量装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5842259

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本发明涉及一种光学位置测量装置,该装置适用于确定两个相互运 动物体的相对位置并在沿测量距离的至少一个参考位置上提供一个参 考脉冲信号。背景技术确定两个相互运动物体的相对位置用的熟知的增量位置测量装置 在比例尺两侧设有一条增量分度迹线。该增量分度迹线通过一个相对于 该比例尺在至少一个测量方向内运动的扫描单元进行扫描而产生增量 信号。此外,为了建立一个绝对基准,这类位置测量装置可在沿规定或 预先给定的参考位置上产生参考脉冲信号。为此,比例尺的例如与增量 分度迹...
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