技术编号：5842386
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明尤其涉及一种为了测量非球面透镜的非球面形状而使用的光 波干涉测量装置。背景技术近年，高精度地测量非球面光学元件的非球面形状的要求尤其在透 镜设计、制造等的领域非常强。作为涉及非球面形状的高精度的测量方法的技术，在斐索型的干涉 仪中，具有作为被测量非球面的基准的参照非球面的参照用反射元件， 与上述被测量非球面接近配置。基于通过由上述参照用反射元件反射而 返回被测量非球面的参照光与在上述被测量非球面的反射的物光的光干 涉而得到的干涉条纹，测量出被测量非球...
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