技术编号:5843567
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光传感,更具体的说是涉及一种补偿式微位移传感光子集成心片。背景技术传感技术是信息产业的三大基石之一,微位移传感器是精密仪器加工制造、性能检测以及智能化不可缺少的器件。它不仅应用于民用产品,在航空航天、武器装备等领域更是扮演着举足轻重的角色。现在国际上的微位移测量方法主要包括隧道扫描法、压阻法、压电法、差指法、电磁法、以及可变电容法等。但上述探测方法由于在测量中需要接触待测目标,且量程小、精度低、采集信号需要后台放大处理等,从而引入电噪声,具有测量...
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