技术编号:5844366
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微电子机械(microelectromechanical)结构,尤其是一种双轴 或三轴陀螺仪,其具有旋转驱动运动(rotary driving movement)和改善的电特性,特别是 在角速度检测的灵敏度方面。背景技术众所周知,微机械加工技术能够制造半导体材料层中的微电子机械结构或系统 (MEMS),该半导体材料沉积(例如,多晶硅层)或生长(例如,外延层)在牺牲层上,该牺牲 层通过化学蚀刻移除。由这种技术获得的惯性传感器、加速计和陀螺仪在例...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。