技术编号:5847490
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种显微分光测量装置,尤其是用于测量光谱反射率的显微分光测量装置。背景技术随着光学产品质量控制要求的不断提高,研究开发和工业生产中对于透镜表面、特别是 镀膜后光学零件表面的实际光谱反射率及反射率分布进行精确测量的要求越来越多。由于透 镜表面曲率种类繁多、材料透明、镀减反膜后样品表面的反射光非常微弱,所以測试仪器面 临着测试中如何使测试系统的光轴与被测面法线重合?如何使微弱的反射光经过分光后仍能 够获得足够的信噪比保证测量精度等一系列设计困难。...
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