技术编号：5848762
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种CCD成像系统微调装置，尤其是涉及一种铬版膜针孔 微观缺陷自动检查仪CCD成像系统位置微调装置。背景技术现有铬版膜针孔微观缺陷自动检査仪CCD成像系统微调装置，水平上下位置 微调机构，调整范围小，不能满足水平方向200mm调整范围的要求，且无法对 双镜头位置进行调整，制造成本高，并且不适合在半悬浮机械臂上安装使用， 没有移动量的数字直观显示功能，在多兼容规格下，水平位置调整困难。实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有CCD(电荷耦合器)...
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