技术编号：5849256
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于测量，具体涉及一种极小气体流量校准系统及方法，用于真空漏孔、检漏仪及气体微流量计的校准和测量。背景技术泄漏检测是航天工程、半导体工业、太阳能工业等应用领域中的关键技术，尤其在航天工程中对极小气体流量提出了急切需求。文献“恒压式气体微流量计的测控系统研制《宇航计测技术》第24卷、2004年第6期、第14 16页”，介绍提出了采用恒压法测量气体微流量的方法，其测量范围为3. 9X10—4 3. 6X KT8Pa m3/s ;文献“便携式气体微流量...
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