技术编号:5851460
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于猫眼反射原理的干涉微位移测量系统,具体涉及一种可以应用于纳米级准确度非接触式微位移测量的基于猫眼反射原理的平衡式干涉仪光学系统,属于几何量计量。背景技术微纳米科学技术的发展和微机电系统的应用,对非接触式微位移测量技术提出了迫切需求。激光干涉测量技术以其量值可溯源、测量分辨力高等特点,一直在高准确度微位移测量中占主导地位,其测量准确度可达到纳米量级。但是,在干涉测量中通常采用的用角锥棱镜实现测量光束180°转折的方法,已无满足一些特殊场合的...
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