技术编号：5852713
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及的是一种用于微驱动的力源，具体的说是涉及一种基于相 控阵技术的多模式微驱动力源。 背景技术近年来，随着材料科学不断发展，出现了许多新的薄膜材料，并且广泛地 应用于人们生活的各个角落。薄膜材料的力学性能是评价薄膜材料地重要指标， 在以薄膜为材料的元器件设计中，其力学性能是设计的依据，对元器件的性能、 可靠性和使用寿命有很大影响。薄膜的力学性能包括薄膜的弹性模量、屈服强 度和界面结合强度等力学参量。其中薄膜的弹性模量不仅是薄膜器件设计的必 要参量...
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