技术编号:5853101
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光罩检测技术,尤其涉及一种光罩检测设备。 背景技术随着半导体及液晶显示器(LCD)行业的突飞猛进及技术的飞速发展, 光罩已成为IC、 TFT、 HDI制造中的重要器具,对光罩的数量的需求越来越 大、对光罩的精度和各项性能指标的要求也越来越高,特别是在半导体制方 面,当精度从微米提升到纳米时代,这对光罩制作的品质要求也越来越重要, 精度的提升直接产生的就是线条变小,线宽的縮小使光罩检査面临着更严峻 的挑战。在传统的光罩检测方案中, 一般存在下述...
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