多固支梁圆膜式力传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:5853243

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本实用新型涉及力传感器的结构设计,尤其是圆膜式力传感器的结构设计。技术背景 当今市场上有许多带硬中心圆膜式测力传感器,尺寸较小,但大多精度不高,线性 差,对安装要求非常高,对位置敏感。而圆形轮辐式测力传感器精度高,但尺寸大,带上下盖 板,工艺比较复杂。因而急需一种尺寸小,精度高的产品来满足市场要求。发明内容 本实用新型的目的在于提供一种尺寸小,精度高的带硬中心的多固支梁圆膜式力 传感器 它包括顶部中心设有凸起硬中心的圆形弹性体;圆形弹性体圆膜上围绕硬中心设...
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