技术编号:5855758
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于测量压力和温度的基于声表面波的传感器。背景技术声表面波压力温度传感器可以用来同时测量温度和压力信号,目前已经在实际中 得到应用,如汽车轮胎的内部压力和温度的检测。通常的声表面波压力温度传感器,一般 是在单个压电衬底的不同区域安装多个温度和压力声表面波器件,并在柔性衬底上制作阻 抗匹配电路和天线。这种结构设计虽然在多个不同功能传感器安装上具有简便的一次性安 装的优点,但是在同时需要高精度温度和压力检测的情况下,存在着衬底制作面积较大和 ...
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