一种基于级联微腔的数字式集成光波导传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:5856286

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本实用新型涉及一种基于级联微腔的数字式集成光波导传感器,属于光传感领 域。背景技术在药物开发、环境监测、食品安全检测等领域,可靠的测试手段不可或缺,而传感 技术正是其核心技术。利用先进传感技术,可以对物质成分/浓度等进行实行定性或定量 分析。光学传感是传感技术的重要分支,其基本原理是当被测物质与光场作用时,导致光 信号某些参量(如强度、波长、相位、偏振态、模式分布等)的变化。在众多不同形式的光学传感器中,集成光波导传感器是目前最受关注的一种类 型。集成光波...
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