技术编号:5858930
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及热式质量流量控制器,尤其涉及一种热式质量流量控制器传感器的传感器老化装置。背景技术传感器是热式质量流量控制器的核心部件,它的作用是将流经的气体加热,并将 气体流量信号转化为电信号,质量流量控制器将此电信号与设定信号进行比较,利用控制 电路对电磁阀进行闭环控制,从而实现对气体质量流量的控制。因此传感器稳定工作是质 量流量控制器正常工作的前提,通常会在模拟的使用环境下对传感器进行老化筛选,从而 为质量流量控制器提供经筛选的性能稳定的传感器,以减少...
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