技术编号:5860892
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池片薄膜厚度量测用载物台,尤其是用于测量太阳能电 池片氮化硅薄膜厚度的太阳能电池厚度量测手动对准载物台。背景技术目前,太阳能电池片氮化硅薄膜厚度量测主要采用椭圆偏振薄膜测量技术,测量 时将硅片放在常规的显微测量载物台上,靠人工手动对准测量位置,量测误差较大,无法准 确计算硅片厚度的均勻度,同时容易损坏硅片。实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种太阳能电池厚 度量测手动对准载物台,能够对需测量的太阳能电池硅...
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