一种电沉积波纹管微体积补偿曲线测量装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5861185

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本实用新型涉及电沉积方法制造金属波纹管时所用的检测设备。 背景技术过去有一些关于金属波纹管体积补偿测量的装置与方法的专利,但原理大多是采 用了流量计来测得体积变化量,在微小压力变化情况下,流量计存在止动现象,对于电沉积 波纹管这样的高灵敏元件并不适用。 发明内容本实用新型的目的是提供一种电沉积波纹管微体积补偿曲线测量装置,降低测量 误差、提高压力输入精确度与可靠性。一种电沉积波纹管微体积补偿曲线测量装置,包括气压腔室、回流腔室、控制阀和 液位指示计,其特征...
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