运动部件位置的真空信号引出装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5861203

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本实用新型涉及将真空环境内的信号引出到大气环境的设备,具体地说是一种运 动部件位置的真空信号引出装置。背景技术目前,现有的真空信号引出装置可以分为两种,其中一种是将触点开关和接电线 缆等器件直接置于真空环境中,接线端通过真空陶瓷封接等方式将电线引出。这种方式要 求触点开关的外壳和机芯都要使用不锈钢金属材料,才能满足真空放气率和耐高温性等指 标;而且采用这种方式一旦在使用过程中触点开关损坏的话,就必须要系统停机破坏真空 方能取出更换,给操作带来较大不便。另一...
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