技术编号:5861666
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于微电子机械,特别涉及一种超高分辨率的电容式双向微 惯性传感器。背景技术电容式微惯性传感器是目前发展十分迅速、应用十分广泛的一种微电子机械器件,主要应用于汽车安全气囊、车辆稳定系统、数码产品的重力感应、游戏手柄的动作感应 等方面。相对于其他检测方式的微惯性传感器,如压阻、压电、热对流等,电容式微惯性传感 器具有温度系数小、灵敏度高、稳定性好、易于实现闭环检测等优点,是目前研发和市场应 用的热点。目前市场上超高分辨率的微惯性传感器一般只能进行单方...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。