技术编号：5863038
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于PTF检测设备领域，具体涉及一种圆形铁磁性靶材多圆周PTF检 测装置。背景技术电子信息技术的快速发展对磁性薄膜、磁性元器件产生了巨大需求，磁性薄膜及 磁性元器件的制备离不开原料Fe、Co、Ni等铁磁性金属及合金。作为当今镀膜的主流技术 之一，磁控溅射在沉积磁性薄膜上得到广泛应用。但磁控溅射沉积磁性薄膜存在着铁磁性 靶材(成分包括Fe、Co、Ni中一种或多种元素)难以正常溅射等问题，如难以起辉光等。原 因在于铁磁材料具有高导磁性，靶材背面的永久...
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