技术编号:5863693
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及测量物体表面形貌的技术。更具体地,涉及用于测量物体表面形 貌的相位测量干涉测量法的方法和装置。背景技术一般要求制造诸如平板显示器、有源电子设备、光伏设备和生物阵列之类的设备 中使用的基板具有基本上无缺陷的以及平整度在几个微米之内的表面。因此,相对容易地 检查这些表面的缺陷和平整度是极重要的。相位测量干涉测量法(PMI)是测量表面形貌的 光学干涉测量技术的一个例子。PMI —般包括通过光束与物体表面的相互作用来创建干涉 图案以及检测干扰图案,其...
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