技术编号:5864241
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及干涉测量法(interferometry)。 背景技术干涉测量技术(interferometric techniques) 一般用以取得有关于测试物(test object)的信息,例如测测量试物的表面轮廓。为此,干涉测量仪(interferometer)将从所 关注的表面反射回来的测量光(measurement light)与从参考面(reference surface)反 射回来的参考光(reference light)结合以产生干涉谱(in...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。