技术编号:5864246
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及检测外力或者加速度的检测传感器。 背景技术作为检测外力或者加速度的传感器,例如可以列举加速度传感器和位移传感器。 其中,关于加速度传感器,一般是由容量变化或者电阻应变方式检测可动质量的静态位移 的方法。例如,在下述专利文献1中公开了根据静电容量的变化检测位移的加速度传感器。专利文献专利文献1 日本特开平10-206457号公报 发明内容发明所要解决的问题然而,在由静电致动器(static actuator)检测静电容量变化的情况下,为了提高 灵敏...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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