曝光装置和曝光方法技术资料下载

技术编号:5864273

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本发明涉及,特别合适地涉及使用光刻法制造液晶显示面板 用基板等的工序中所用的。背景技术一般的液晶显示面板具有一对基板,这些基板配设为隔着规定的微小间隔大致平 行地对置。并且,具有在这些基板之间填充液晶的结构。在该一对基板的一方中,可以对液 晶施加规定的电压的像素电极、驱动该像素电极的开关元件(例如薄膜晶体管)、信号线、 扫描线等各种配线等规定的要素按照规定的顺序层叠而形成。另外,在一对基板的另一方 中,黑矩阵、规定颜色的着色层、共用电极等规定的要素按照规定...
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