技术编号：5864625
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及在测试样本的特定位置测试电性能的技术，尤其是探测和分析表 面层和多层结构的技术。更具体地，本发明涉及多点探针，多点测试装置和生产多点探针的 方法。背景技术显微镜四点或多点探针是公知的，并且是已建立的用于对测试样本的电性能进行 测试的技术。传统的四点探针典型地具有每个探针臂的特定区域或接触点，其与其他探针 臂对应的特定区域或接触点成直线结构放置。探针臂通常是直的，单向的，并且围绕它们的 中心轴对称，例如沿着纵向延长的中心轴具有相同的矩形或圆形横...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。