技术编号:5864997
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请总体上涉及采用电磁辐射(在文中也称作“光”)的表面分析,并且特别地, 涉及用于对描述辐射偏振的斯托克斯参数(stokes parameters)进行确定的快速测量。背景技术椭圆偏光法(ellipsometry)是可以在大多数样本上非破坏性地进行的极灵敏的样本分析技术。在椭圆偏光法的实验期间,一种或多种波长的光从样本表面反射,或者透过样本并从另一侧传出来。更经常地,对反射光进行分析,并且为了简化讨论,文中的大部分讨论是关于反射光的分析。由于反射光通常较...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。