技术编号:5865375
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明总体上涉及质量流量控制器。具体而非限制地,本发明涉及质量流量控制器热传感器及其操作方法。背景技术 典型的质量流量控制器(MFC)是被配置成且适于控制流体传输的装置。用户可以按照例如每分钟从MFC传输的流体的立方厘米或者克来设置流体的指定传输速率。为了控制从MFC传输的流体的流率,典型的MFC生成表示MFC的实际流率的输出信号。将该实际流率与用户指定的流率进行比较,并且如果需要调节控制阀以修改流量以使得以指定的传输速率释放从MFC释放的流体的流量。发...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。