技术编号:5865515
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。此申请要求2008年9月观日提交的美国临时专利系列号61/100735的优先权, 于此通过引用将其并入。背景技术高分辨率显微术用于不同领域的研究和开发、质量保证和生产中,不同领域诸如是材料科学、生命科学、半导体工业和食品工业。追溯至十七世纪的光学显微术已经遇到了难以逾越的障碍,由深紫外光子的波长限定,给出了约SOnm的最精细的分辨率。多个光学显微术源于其相对低的价格、容易使用以及全都转变为可用性的各种成像环境。扫描电子显微镜(SEM)提供精细得多的分辨率(...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。