技术编号：5866082
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般地涉及具有可动质量块(或活动质量块)的微结构。更具体地，本发明涉及检测质量块物理运动的加速度计。背景技术 有多种类型的传感器使用可动质量块(活动质量块)。举例来说，有诸如加速度计和角加速度计(震动陀螺仪)的惯性传感器。检测运载工具加速度的加速度计一般利用压敏电阻效应。举例来说，按照这样的传感器，在硅基底构件(固定框架)的腔中装有盒状的震动质量块(即活动质量块)。可动质量块由其上形成了压敏电阻的梁来悬挂，以便随质量块的运动而向压敏电阻施加应力。用电...
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