技术编号:5866202
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在液晶阵列检查装置中,作为在液晶基板上进行拍摄而得到的摄像图像,能够使用光学拍摄得到的光学摄像图像或利用电子束、离子束等带电粒子束在基板上进行二维扫描而得到的扫描图像。背景技术在液晶阵列检查装置中,作为在液晶基板上进行拍摄而得到的摄像图像,能够使用光学拍摄得到的光学摄像图像或利用电子束、离子束等带电粒子束在基板上进行二维扫描而得到的扫描图像。在用于TFT (Thin Film Transistor 薄膜晶体管)显示器装置的TFT阵列基板的制造工序中,对所制...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。