技术编号：5866450
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用例如以迈克尔逊干涉仪或林尼克干涉仪为代表的干涉仪，观察并检查晶片等试样(被测物)的表面或内部的凹凸情况的干涉显微镜和测定装置。背景技术目前为止，使用干涉仪的测定装置是众所周知的，该干涉仪将入射光分成两个光路，一个光路的光照射试样(被测物)，另一个光路的光照射参照镜，使从试样反射的反射光与参照光发生干涉以形成干涉条纹，由此观察并检查试样的表面内部。日本特开第2006-116028号中，在形成干涉条纹时，通过使用由压电元件PZT使参照镜可以在光轴...
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