用于nvm测试中不同品种参数之间坐标的对应方法技术资料下载

技术编号:5866925

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本发明属于半导体集成电路测试分析设计领域,尤其涉及一种用于NVM(非易失 性存储器)测试中不同品种参数之间坐标的对应方法。背景技术在wafer (晶片)测试中,在不同prober (探针)之间通常是不同的品种参数,或者 应用于不同测试功能的品种参数时探针是不同的,因此测试坐标是不一致的。当在不同的 测试仪之间做相关性的时候,或者对wafer做工程分析的时候,都需要先确定不同品种参 数之间die (die是晶圆或硅片在封装前的单个单元的裸片)的坐标的对应关系...
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