技术编号:5867155
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及动态检测波面信息的方法和装置,尤其涉及一种利用同步移相干涉方法获得光学相位的方法和实现光路。 背景技术在光学波面干涉测量术中,通常将激光作为相干光源,通过分振幅的方法产生两 束波面, 一束波面投向标准参考镜并返回后形成参考波面, 一束波面投向被测件并返回后 形成测试波面,参考波面与测试波面在空间相遇形成干涉场,由数字图像采集装置将干涉 场以干涉条纹图的形式记录下来,对干涉条纹图进行分析就可以得出测试波面的形状。目 前,在国内外商品化激光波面干涉仪...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。