技术编号:5867399
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及管道流量计,特别涉及一种滤光流量计。 背景技术在半导体制造过程中,很多工艺过程都需要用到水。为了控制水流的流量,通常 需要在水流管道上设置流量计来监测水流流量。现有技术的流量计如图1所示,包括外壳 101、测量腔102、测量浮子103、浮子固定轴104和电磁传感器105,所述测量腔102设置于 所述外壳101内,用于通过被测液体,所述测量腔102的一端设置有液体入口,另一端设置 有液体出口,所述外壳101的两端也相应设置有与所述测量腔102上的液...
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