技术编号:5867616
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一杆式双轴运动机构本发明涉及一种运动机构,尤其是涉及一种用于电子制造业、STM行业、太阳能、半导体以及半导体封装业的检测方面的一杆式双轴运动机构。背景技术现有市场出现有各种各样的用于电子制造业、STM行业、太阳能、半导体以及半导 体封装业的检测方面的双轴运动机构,其大部分的双轴运动机构都是采用分布独立驱动X 轴电机及Y轴电机运动,或者采用手动的方式单独调节X轴电机或者Y轴电机运动的方式 实现的。由于采用手动方式或者单独分别控制所示的X轴电机及Y轴电机运动,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。