技术编号：5867779
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于一种洁净度检测设备，特别是一种小型化、大流量、高信噪比、高粒径分辨率、高计数效率的全半导体尘埃粒子计数器的光学传感器。 背景技术随着人们对空气洁净度、材料纯度以及加工精度的要求不断提高，对微颗粒的测 量技术凸显的尤为重要。尘埃粒子计数器就是光散射计数法测量颗粒粒径分布所用的主要 测量仪器。激光尘埃粒子计数器以Mie散射理论为基础，单颗粒在照明光束中产生的散射 光为直接测量对象，再根据颗粒散射光强度的差异分辨待测颗粒的粒度大小的测量仪器。 其中光学...
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