准分子灯用照度测量装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5868285

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本发明涉及测量从准分子灯放射的真空紫外光的准分子灯用照度测量装置。特别 涉及没有用玻璃板等隔离、在准分子灯与被照射物之间的空间中夹着大气等的含有氧的气 体的准分子灯装置中的、正确地测量从准分子灯放射的真空紫外光的准分子灯用照度测量直O背景技术使用准分子灯的光照射装置在液晶用玻璃基板的光清洗工序及半导体的制造工 序中广泛地使用。其中,使用氙准分子灯的放射波长172nm的真空紫外光的光照射装置近 年来被广泛地使用。在该真空紫外光的测量中,需要避免大气中的氧的吸...
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