技术编号:5868285
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测量从准分子灯放射的真空紫外光的准分子灯用照度测量装置。特别 涉及没有用玻璃板等隔离、在准分子灯与被照射物之间的空间中夹着大气等的含有氧的气 体的准分子灯装置中的、正确地测量从准分子灯放射的真空紫外光的准分子灯用照度测量直O背景技术使用准分子灯的光照射装置在液晶用玻璃基板的光清洗工序及半导体的制造工 序中广泛地使用。其中,使用氙准分子灯的放射波长172nm的真空紫外光的光照射装置近 年来被广泛地使用。在该真空紫外光的测量中,需要避免大气中的氧的吸...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。