技术编号：5868324
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光测力学和材料性能检测，特指一种基于数字散斑相关法测量变形的多功能薄膜力学性能检测装置。 背景技术薄膜科学与技术是微电子、信息、传感器、光学、太阳能利用等技术的基础，它已广 泛地渗透到当代科技的各个领域。为了适应高强度、耐磨、耐高温、耐腐蚀等不同工业应用 要求，通常采用表面镀膜等各种表面处理技术对材料表面进行加工，使其适用各种复杂的 工作环境。薄膜技术也是微电子器件和微电光器件的基础，近来薄膜技术更促进了微电子 机械系统(MEMS)的兴起和发展。...
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