技术编号:5868390
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微型集成化非合作目标探测装置,属于光机电一体化技术和MEMS 技术(Micro-Electro-Mechanical System)令页域。背景技术自主扫描是用于空间非合作目标探测的关键技术,主要用于扫描探测空间某一区 域中的非合作目标航天器,并对其相对距离和相对方位进行测量。 随着微机械和MEMS技术的发展,微反射镜扫描成为了一种新型的扫描方式,其基 本原理是微反射镜镜面在静电力、电磁力、电热力、压电力或其它类型驱动力的作用下发生 偏转,从...
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