技术编号:5868913
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及高精度的位移传感器,更具体地说是一种纳米级的测微传感器。背景技术随着加工技术的发展,对于高精度微小尺寸变量的测量技术的需求与日倶增。例如,检查工件的厚度、内径、外径、椭圆度、平行度、直线度、径向跳动等多种参数,因此接触式微位移测量仪被广泛应用于精密机械制造业、国防、科研以及计量部门。表1列举了国内外高精度的接触式微位移测量仪 表1接触式位移测量仪技术参数比较<table>table see original document page...
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