技术编号：5869542
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种长度计量测试和微纳米坐标测量的装置及方法，特别是公开一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置。 背景技术微纳米测量技术是微米纳米技术发展的保障，也是其重要的组成部分。随着以半 导体技术、MEMS技术、超精密加工技术为代表的微纳米制造技术的迅速发展，对微纳米尺度 下的几何量测量也有了更多的需求，其测量任务主要包括以下几个方面[1] 1)沿着同一 方向的两个表面之间的距离2)两个相反表面之间的距离3)沿着垂直方向的两个平面之间 的距离4)表面...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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