技术编号:5869848
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例通常涉及感测装置和方法,例如,流量传感器,压力传感器,湿度传 感器以及温度传感器。本发明实施例还涉及流通压力(flow-throughpressure)传感器。背景技术在不同的应用中,已经有一定数量的方法和装置被实施用以测量流率。可运用流 通压力传感器与串联式孔口相结合来测量很低的流率,且具有可靠的精度。这样的压力传 感器已经运用于,例如,各种流动感测装置(诸如医用感测装置的应用),其中一些运用了 硅压阻式感测技术以测量很低的压力。其它流动感测...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。